原厂到货Malema 中小流量浆料控制器 CMFC-5031-F205-22PH

CMFC-5031-F205-22PH针对含颗粒悬浮流体工况优化设计，采用专属夹管阀控制结构，区别于传统隔膜阀，可有效避免浆料颗粒堆积、阀体卡滞、堵塞等问题，适配CMP抛光液、胶体悬浮液等特殊介质。

设备依托科里奥利质量测量技术，测量数据独立于流体密度与粘度，即便介质颗粒含量、粘度小幅波动，仍可维持稳定测量精度，控制误差不超设定值±1.5%，重复性误差控制在±0.5%以内。设备响应速度迅捷，标准调节时长低于2秒，多数常规工况可实现1秒内快速稳压，有效减少流量超调现象，保障研磨制程流量稳定性。

接液部分采用PFA搭配Pt固化硅胶管路，耐颗粒冲刷、不易污染介质，适配高纯浆料制程的洁净标准，无介质滞留死角，可减少浆料沉积变质问题。设备采用0-10VDC电压信号输入输出，信号传输抗干扰性强，适配车间复杂电磁环境，可精准接收上位机设定参数并实时反馈流量数据。

设备适配18-50℃流体温度，支持多方向安装，运维便捷，无需频繁拆解清洁。广泛应用于半导体CMP抛光设备，精准管控抛光液输送流量，可替代传统蠕动泵输送系统，提升浆料输送制程的稳定性与一致性，降低设备运维频次。

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