原装到货 Malema 微量精密流量控制器CMFC-6000系列

CMFC-6031-F204-11NH采用专利科里奥利测量技术，可直接精准测量介质质量流量，测量效果不受流体密度、粘度、温度变化影响，无需频繁校准，适配各类高纯液态介质制程应用。

设备集成高精度压力、温度传感模块，可同步完成流量、压力、温度多参数监测，替代传统差压式控制器，规避设备运行数据漂移问题，适配老旧设备升级替换场景。 设备控制精度可达设定值±1%，重复性表现稳定，响应时长低于2秒，多数常规工况可实现1秒内快速稳压，有效缩减流量调节滞后性，保障微量药液配比精度。

设备具备优异的两相流体适配能力，可耐受含气率30%的介质工况，即便流体混入微量气泡，仍可维持稳定测量状态，适配湿法清洗、蚀刻等易产气制程。 整体接液部件采用高纯PFA、PTFE材质，无冗余死角与活动密封结构，不易析出杂质，适配超纯水、高纯化学药液等高端制程介质。标配高速步进电机驱动隔膜阀，PID智能算法调控，阀门调节精准，流量超调量小，保障流体输送稳定性。 

设备支持4-20mA电流信号输入输出，压力、温度信号可同步传输，兼容主流工业PLC控制系统。防护等级达IP65，支持横竖多向安装，适配车间常规温湿度与压力工况。主要用于半导体湿法清洗、精密蚀刻、镀铜等微量流体精准管控工序，助力提升制程稳定性与物料利用率。

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