原厂原装OSAKA VACUUM 大阪真空 TGkine3400MI-B 磁悬浮分子泵

TGkine3400MI-B 属于 TGkineMI-B 系列控制器一体式磁悬浮涡轮分子泵，吸气口规格 VG350。氮气排气速度 3600L/s，加装金属保护网后 3400L/s，氢气排气速度 2700L/s；氮气最大压缩比大于 2×10⁸，氢气压缩比大于 2×10⁷，极限压力低于 5×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 2800sccm，氩气流量 2100sccm；启动时长≤12 分钟，停止时长≤14 分钟，允许辅助压力 100Pa，推荐搭配≥2000L/min 前级泵，整机重量 76kg。

产品特色为定向自加热机制，外部加热器配合泵内气体摩擦热，仅对气体接触部位升温。相比传统整体加热方案，外部加热器所需功率更低，多余热量不会影响泵内部关键结构，有效防止泵体受热损伤，稳定排气口温度，抑制反应生成物附着固化，拉长设备维护周期。

应用场景集中在半导体、FPD、MEMS 刻蚀设备，适合工艺中会产生反应生成物、物料高温易挥发的真空制程。一体化结构减少安装配件，磁悬浮轴承运行振动小，大抽速能力支撑大型腔体快速建立高真空，在长时间连续生产中降低沉积物堆积带来的停机风险，保障产线稳定运行。

OSAKA VACUUM 大阪真空产品有选型需求以及购买请咨询池田屋张工-13⑧89⑨159⑥6，原装正品，现货秒发。